【立霸股份:参股公司沈阳拓荆科生产的PECVD设备在中芯国际北京工程流片量已达100万片】公司参股的沈阳拓荆科技有限公司与中芯国际是否保持紧密的合作关系?立霸股份在互动平台上表示,根据辽宁省政府官网公开信息显示沈阳拓荆科技有限公司生产的PECVD设备在中芯国际北京工程流片量已达100万片。