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投资方智光电气确认 粤芯半导体更先进光刻机已进场
【投资方智光电气确认 粤芯半导体更先进光刻机已进场】据潇湘晨报报道,已从投资方智光电气确认粤芯半导体更先进光刻机已进场。此外,据透露,今年年底之前,投资65亿的二期项目将进入设备调试,争取明年上半年实现量产。智光电气于2019年3月互动平台曾表示,广州粤芯半导体公司采购的是荷兰ASML的光刻机,已于2019年3月中旬搬进粤芯半导体主厂房,目前在做量产前的最后调试准备。粤芯半导体项目是国内第一座以虚拟IDM (irtuallDM)为营运策略的12英寸芯片厂,是广州第一条12英寸芯片生产线,已列为广东省、广州市重点建设项目。