【大族激光:在研光刻机项目聚焦在分立器件、LED等领域的应用 今年有望实现小批量销售】大族激光在互动平台表示,公司在研光刻机项目分辨率3-5μm,主要聚焦在分立器件、LED等领域的应用,今年有望实现小批量销售。