【机构:预计ASML High NA EUV光刻机功耗约1400千瓦】 TechInsights表示,每台ASML0.33NAEUV光刻机的功耗就已经达到了1170kW,而0.55NA(HighNA)光刻机的功耗预计将进一步增长至1400kW。