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中微公司发布晶圆边缘刻蚀设备Primo Halona™

2025-03-27 10:14:14
【中微公司发布晶圆边缘刻蚀设备Primo Halona™】 在SEMICON China 2025展会期间,中微公司自主研发的12英寸晶圆边缘刻蚀设备Primo Halona™正式发布。中微公司表示,此款刻蚀设备的问世,实现了在等离子体刻蚀技术领域的又一次突破创新,标志着公司向关键工艺全面覆盖的目标再进一步,也为公司的高质量发展注入强劲动能。

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