【上海新阳:ArF浸没式光刻胶已取得销售订单】4月22日,上海新阳在互动平台上表示,公司主要开发括I线、KrF、ArF在内的各类晶圆制造用光刻胶,已实现KrF光刻胶多款产品批量化销售,2024年光刻胶产品整体销售规模持续增加,同比增长超100%,ArF浸没式光刻胶已取得销售订单,迈出了实现产业化的第一步。